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CVD管式爐

簡要描述:化學氣相沉積(CVD管式爐)是指化學氣體或蒸汽在基質表面反應合成涂層或納米材料的方法,是半導體工業中用來沉積多種材料的技術,包括大范圍的絕緣材料,大多數金屬材料和金屬合金材料

  • 產品型號:STGC-80-12
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2026-02-25
  • 訪  問  量:85

詳細介紹

品牌三特爐業加熱方式電阻絲
控溫精度±1℃最高溫度1200℃
價格區間面議儀器種類管式爐
產地類別國產應用領域食品/農產品,化工,能源,制藥/生物制藥,綜合

產品特點

  • 一、產品描述

    1200℃管式爐化學氣相沉積(CVD)是指化學氣體或蒸汽在基質表面反應合成涂層或納米材料的方法,是半導體工業中用來沉積多種材料的技術,包括大范圍的絕緣材料,大多數金屬材料和金屬合金材料

  • 二、 產品特點

    爐外殼

    1、外殼采用金屬Q235低碳鋼,表面靜電耐藥涂裝,抗腐蝕

    2、 堅固的雙層金屬框架配合隔熱風扇結構,爐表面溫度低

    3、水平使用方式,上開蓋結構,操作方便

    耐火材料

    多層隔熱設計,由輕質氧化鋁陶瓷纖維和高品質隔熱板背襯組成,不含石棉成分,熱損失小,能耗低

    加熱系統

    1、高品質HRE螺旋電阻絲發熱體,牢固的鑲嵌在爐膛表面,在爐腔內自由熱輻射加熱,使用壽命長

    2、電阻絲環形加熱,從而實現爐內的良好均勻性

    溫度控制面板

    1、PID配合SSR控制方式,溫度控制準確

    2、國際標準化N型鎳鉻硅熱電偶,測溫范圍0-1300℃,使用壽命長

    3、爐門帶有開門斷電保護開關

    程序控制器

    1、適應復雜工藝需求的的控制器

    2、操作簡單直接,編程靈活

    3、可編程4條曲線,單條曲線8個程序段

    4、超溫和故障報警,自動進行保護

    真空氣氛功能

    1、帶有304不銹鋼的密封法蘭,獲得爐管內的真空或者氣氛

    2、高品質石英玻璃工作管,也可選擇金屬或剛玉材質的工作管,從而適應不同的工況

    3、高性能雙極旋片真空泵,可獲得5pa的真空度,數字真空計可顯示真空度

    4、帶有氣路控制單元,控制單元可選擇1-3路MFC自動控制系統


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